全部作者	周富得
论文名称	半导体制造中单片式旋转清洗与氧化爐管机台的兩阶段制程之排程研究
研讨会名称	2014全国管理实务暨学术研讨会
举行地点	中华民国桃园县中坜市
会议开始时间	2014-05-08
会议结束时间	2014-05-08
作者顺序	第三作者