年度 2013
计画类别 政府-学术研究计画
计画名称 半导体制造中探讨单片式旋转清洗与氧化炉管机台的两阶段制程之排程研究(I)
参与人 周富得
类别 主持人
起迄日期 2013.08 ~ 2014.07